薄膜工学 第3版
【内容情報】
薄膜技術は基礎的な技術でありながら、関連する応用分野は広く、とくに今日のナノテクノロジーは微細加工・微細構造作製技術と組み合わされた薄膜技術なしには成り立たない。本書では基本を重視する従来の編集方針はそのままに、近年ますます広がりをみせる薄膜技術に対応すべく、大幅な改訂を行った。薄膜分野に携わる研究者、技術者にとって、基本技術の解説書として最適な一冊である。
【目次】
１ 薄膜工学の基礎（薄膜の歴史／薄膜と工学 ほか）／２ 薄膜作製法（真空蒸着法・ＭＢＥ法／スパッタリング ほか）／３ 薄膜評価法（膜厚・形状評価／結晶構造評価 ほか）／４ 薄膜の機能と応用（半導体薄膜（シリコン系）／半導体薄膜（化合物） ほか）
